作者：李明辉1,2， 郜鲜辉1， 吴金金1， 丁雨葵1， 宋武林1,2
作者单位：1. 华中科技大学分析测试中心 ，湖北 武汉 430070; 2. 华中科技大学材料科学与工程学院，湖北 武汉 430070
关键词：电子探针; 有源光纤; 超轻元素; 稀土元素; 定量分析
摘要：
为给有源光纤的工艺开发和性能研究提供有力支撑，该文利用场发射型电子探针 EPMA-8050G 对光纤纤芯 的元素掺杂微区进行系统的定性定量分析，进一步研究石英基质的测试特点以及测试条件对样品烧蚀的影响。能谱 仪（EDS）和波谱仪（WDS）的定性分析结果表明，分析含量较低的元素如稀土元素 Yb 和轻元素 F 时，WDS 有明显的 优势。状态分析结果表明，石英基质有源光纤的定量分析最佳条件为加速电压 15 kV，束流 20 nA。利用该文确定的 定量分析方法测试两种有源光纤，成分总量均在 100%±2% 以内，在光纤类样品的分析中可以得到准确可靠的 结果。
