作者:李 灏, 郑世棋, 乔玉娥, 丁立强, 梁法国
作者单位:中国电子科技集团公司第十三研究所,河北 石家庄 050051
关键词:源表; 微小电流校准; 取样电阻; Guard 技术; 适配器
摘要:
针对具有 Guard 保护端的源表类仪器皮安级电流不易计量的现状,采用取样电阻法的间接测量方案,完成微 小电流的有效校准。为解决方案中高源内阻电压精确测量的难题,对源表类仪器广泛采用的 Guard 保护技术原理进 行分析,建立高源内阻电压精确提取模型。研制低电流适配器,组建校准系统,编写自动校准程序,并完成低至 1 pA 的微小电流校准实验。数据表明:实验结果同上级校准值一致性良好,校准方法能够对具备 Guard 端口的源表类仪 器实现微小电流的有效校准。