作者：汪钦臣， 方益民
作者单位：江南大学，江苏 无锡 214122
关键词：光谱共焦技术; 几何量测量; 特征定位; 最小二乘法
摘要：
光谱共焦位移传感器能够实现对透明和非透明材质的几何量测量，该文设计一套基于光谱共焦技术的精密几何量测量系统，将测量轮廓数据转换为图像，基于图像处理技术实现对几何量测量点的准确定位。采用改进的最小二乘法对轮廓数据进行预处理，有效提高系统几何量测量结果的动态重复性，同时系统测量软件直观友好地提供手动轮廓外形编辑和测量工具。实验结果表明：系统能够对透明物体的几何量进行精确测量，自动测量陶瓷标准块厚度的动态重复性不超过1 μm。
