作者：李灏, 郑世棋, 乔玉娥, 丁立强, 梁法国

作者单位：中国电子科技集团公司第十三研究所, 河北 石家庄 050051

关键词：源表;微小电流校准;取样电阻;Guard技术;适配器

摘要：

针对具有Guard保护端的源表类仪器皮安级电流不易计量的现状，采用取样电阻法的间接测量方案，完成微小电流的有效校准。为解决方案中高源内阻电压精确测量的难题，对源表类仪器广泛采用的Guard保护技术原理进行分析，建立高源内阻电压精确提取模型。研制低电流适配器，组建校准系统，编写自动校准程序，并完成低至1 pA的微小电流校准实验。数据表明：实验结果同上级校准值一致性良好，校准方法能够对具备Guard端口的源表类仪器实现微小电流的有效校准。

A current calibration method of pA-level based on Guard technique
LI Hao, ZHENG Shiqi, QIAO Yu'e, DING Liqiang, LIANG Faguo
The 13th Research Institute, CETC, Shijiazhuang 050051, China
Abstract: Considering that pA-level current outputted by source-meter instruments is difficult to metering, an indirect calibration scheme based on sample resistance method was conducted, which achieves effective calibration of micro-current. In order to solve the problem about measuring the voltage on high value resistance, Guard technique which was widely used by source-meter instruments is researched, and exact model to extract the voltage was constituted. A micro-current adaptor was made, calibration system was constructed, automatic calibration program was written, and calibrating experiment of micro-current as low as 1 pA was conducted. Experimental data is coincident with calibrated value given by superior instrument, indicating that this method could realize the micro-current calibration of source-meter instruments with Guard ports efficiently.
Keywords: source-meter;micro-current calibration;sample resistance;Guard technique;adaptor
2019, 45(11):45-50  收稿日期: 2018-10-30;收到修改稿日期: 2018-12-13
基金项目:
作者简介: 李灏(1989-),男,河北石家庄市人,助理工程师,硕士,主要从事电磁计量测试工作
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