作者：许夏茜1, 高杨2, 刘婷婷1
作者单位：1. 西南科技大学信息工程学院, 四川 绵阳 621010;
2. 中国工程物理研究院电子工程研究所, 四川 绵阳 621999
关键词：FBAR;测试夹具;校准;S参数
摘要：
随着对薄膜体声波谐振器（FBAR）器件性能要求的增高，FBAR器件参数的精确测试变得十分关键，该文从测试夹具结构以及对测试夹具的去嵌入校准这两个FBAR参数测试精度要素考虑，综述FBAR板上测试技术的研究现状，讨论测试夹具结构设计过程中的寄生效应、阻抗匹配以及夹结构设计等问题，并分析去嵌入校准的原理、误差模型以及各校准方法的优缺点。通过降低寄生效应、优化阻抗匹配、改善校准方法、优化误差模型可提高FBAR板上测试的准确性，并以此给出一套板上测试夹具设计及测试流程。
Review on FBAR on-board testing technology
XU Xiaxi1, GAO Yang2, LIU Tingting1
1. School of Information Engineering, Southwest University of Science and Technology, Mianyang 621010, China;
2. Institute of Electronic Engineering, China Academy of Engineering Physics, Mianyang 621999, China
Abstract: Accurate testing of film bulk acoustic resonator (FBAR) device parameters is one of the most critical factors of FBAR design. Two aspects must be thought in designing test fixture, which are test fixture structure and de-embedding calibration. In this paper, the research on FBAR on-board testing technology is reviewed. The parasitic effects, impedance matching and structure of the test fixture design process are discussed. The principle and error model of de-embedding calibration are analyzed. The advantages and disadvantages of each calibration method, and the calibration standards are summarized. And then give the FBAR on-board testing flow chart.
Keywords: FBAR;test fixture;calibration;S parameter
2019, 45(2):11-15,29 收稿日期: 2018-10-21;收到修改稿日期: 2018-11-23
基金项目: 国家自然科学基金（61574131）；四川省教育厅资助科研项目（17ZA0402）；西南科技大学博士研究基金（15zx7156）
作者简介: 许夏茜(1992-),女,四川乐山市人,硕士研究生,专业方向为微电子机械系统研究
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