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摘要:
为了更好地满足动态压力的测量需求,研究了一种基于法布里-珀罗(Fabry-Perot,F-P)干涉原理的膜片式光纤动态压力传感器。从理论上分析了多个反射面对F-P腔光谱的影响,提出了得到单一F-P腔的方法。进而采用机械研磨的方式对传感器膜片外表面进行粗化加工,有效解决了由多个反射面带来的光谱复杂问题。对传感器进行静态压力和动态压力标定试验,结果表明:传感器性能良好,在0~200 kPa(表压)范围内的静态压力测量误差小于等于0.5%FS;在20~2500 Hz范围内,传感器的幅值灵敏度相对误差优于±10%。
关键词: 光纤传感器;F-P腔;动态压力;
作者: 张慧君
作者单位: 航空工业北京长城计量测试技术研究所
刊名: 计测技术
Journal: Metrology & Measurement Technology
年,卷(期): 2022, (3)
在线出版日期: 2022年05月21日
页数: 6
页码: 30-35