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摘要：
气体中水蒸气含量测量在工业生产和科研领域发挥至关重要的作用。随着许多工业生产和科研领域对气体水分含量更加严格的测试要求，对于气体中水蒸气含量测量灵敏度的要求也越来越高。目前测量nmol/mol痕量水分的仪器方法有可调谐二极管激光吸收光谱法、光腔衰荡光谱法、大气压离子质谱仪法；达到这个痕量水平的传感器类测量技术有石英晶体微天平法、冷镜露点法、阻容法、电解法。针对这些测量方法的优缺点以及今后的发展趋势进行了论述分析，通过克服测量过程中的干扰因素，可在一定的程度上提高痕量水含量的测量准确性，对促进痕量水含量准确测量技术的发展有所裨益。
关键词： 气体痕量水分;湿度测量技术;水蒸气露点温度;
作者： 宋巍巍；盖文；顾正华
作者单位： 中国空气动力研究与发展中心设备设计与测试技术研究所
刊名： 计测技术
Journal： Metrology & Measurement Technology
年，卷(期)： 2022, (3)
在线出版日期： 2022年05月21日
页数： 6
页码： 10-15
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中国标准连续出版物号：ISSN 1674-5124 CN51-1714/TB
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