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摘要:
设计了一种基于激光准直原理的运动平台激光五自由度运动误差测量系统,该系统基于双平行光束的准直原理对水平直线度、垂直直线度、偏摆角、俯仰角和滚转角误差进行同步测量。进行了系统直线度、偏摆角和俯仰角误差测量核心器件参数的自标定,针对双光束难以调平影响滚转角误差测量准确度的问题,利用水平仪对滚转角误差进行补偿修正。对整套系统进行准确度比对实验,结果表明系统所测直线度、偏摆俯仰角和滚转角误差的准确度分别可达到0.8μm,0.8″和1.5″,为机床几何误差测量技术发展提供了借鉴。
关键词: 五自由度误差;双光束;滚转角误差补偿修正;
作者: 张忠宁,宋治崑,范宇超,范光照,娄志峰,
作者单位: 大连理工大学机械工程学院
刊名: 计测技术
Journal: Metrology & Measurement Technology
年,卷(期): 2021, (3)
在线出版日期: 2021年06月28日
页数: 7
页码: 39-45