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摘要：
为了满足高温环境下的压力测量需求,研制了一种基于CO2激光焊接的高温F-P光纤压力传感器。介绍了MEMS压力敏感结构的制作过程,分析了传感器各组件之间的焊接工艺,实现了高温F-P光纤压力传感器的无胶化封装。在此基础上,对传感器的温度特性和高温压力性能进行了研究。结果表明,采用CO2激光焊接封装的传感器可靠性高,在高温下信号传输正常,未出现光谱能量衰减现象。温度达300℃时,传感器在0～2.5MPa范围内的测量误差小于0.2%FS,能够实现高温压力的准确测量。但温度对传感器的影响不可忽略,在实际应用过程中需对传感器进行温度补偿。
关键词： 光纤压力传感器;高温;激光焊接;
作者： 张慧君，隋广慧，
作者单位： 航空工业北京长城计量测试技术研究所
刊名： 计测技术
Journal： Metrology & Measurement Technology
年，卷(期)： 2021, (3)
在线出版日期： 2021年06月28日
页数： 4
页码： 30-33
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