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摘要:
目的:针对大动态范围复杂曲面的面形检测需求,提出了一种基于光纤干涉投影的子孔径拼接测量方法。方法:通过CCD相机与干涉条纹间的关系作为子孔径划分的依据,利用光纤干涉投影测量系统采集各子孔径的面形数据,由此结合所提出的加权算法将各子孔径进行拼接来获取全口径面形。结果:仿真分析与实验验证表明,通过所提出方法获取的拼接面形连续光滑,且与全口径真实面形RMS值偏差为1.845 8μm,达到了微米量级的检测精度。结论:该测量方法具有检测精度较高、动态测量范围大等特点,从而为各类复杂曲面提供了一种有效的面形检测方法。
关键词: 计量;面形测量技术;光纤干涉投影;子孔径拼接;大动态范围;
作者: 相超,王道档,窦进超,孔明,刘璐,许新科,
作者单位: 中国计量大学计量测试工程学院
刊名: 《中国计量大学学报》
Journal: Journal of China University of Metrology
年,卷(期): 2021, (2)
在线出版日期: 2021年06月15日
页数: 7
页码: 154-160