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摘要:
目的:介绍了一种带有标准具测量量块的白光干涉仪。它可以将量块长度通过标准具间隔长度直接溯源至波长基准,能够利用一个标准具的光学倍乘特性实现多种尺寸量块的直接测量。方法:利用matlab平台模拟仿真研究了这种干涉仪的干涉信号,利用万工显对干涉信号进行了测量。结果:测量表明此新型量块测量的干涉仪中两条零级黑条纹之间的错位精度可以达到小于百分之一个干涉条纹,即小于3 nm以内。结论:本文的研究为量块的精确测量提供了崭新的技术手段。
关键词: 计量学; 量块; 白光干涉仪; F-P标准具;
作者: 张宝武,张成悌,余桂英,薛靓,付天坤,汤江文,王道档,伍俊宇,孔明,
作者单位: 1. 中国计量大学计量测试工程学院2. 中国测试技术研究院
刊名: 《中国计量大学学报》
Journal: Journal of China University of Metrology
年,卷(期): 2020, (4)
在线出版日期: 2020年12月15日
页数: 6
页码: 409-414