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摘要：
本文提出了一种基于光纤布拉格光栅(FBG)温度解耦方法的光纤法珀(FP)压力传感器,该传感器采用低温共烧陶瓷(LTCC)技术实现批量化制作.通过在膜片式压力传感器的基础上集成光纤布拉格光栅(FBG),实现温度、压力双参数测量;提出温度解耦方法,对传感器进行温度补偿及压力测量结果的修正.实验结果表明,在20~300℃的温度范围内,FBG温度传感器的灵敏度为0.012nm/℃,在160kPa的压力范围内,压力测量灵敏度约为0.1μm/kPa,3次重复实验的重复性误差和非线性误差分别约为5.6%和1.3%,温度系数为0.018μm/℃,压力灵敏度随温度变化为0.283nm/(kPa·℃),同时,采用温度解耦方法,得到压力计算值与真实值最大偏差小于2.5kPa.
关键词： 光纤法珀;光纤布拉格光栅;压力传感器;温度传感器;低温共烧陶瓷
作者： 陈宝杰，刘佳，贾平岗，梁庭，洪应平，熊继军，
作者单位： 中北大学电子测试技术国家重点实验室；中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
刊名： 《测试技术学报》
Journal： Journal of Test and Measurement Technology
年，卷(期)： 2020, (4)
在线出版日期： 2020年08月31日
页数： 6
页码： 321-326
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