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摘要：针对集成光栅-反射镜位移测试中工艺及装配误差导致反射镜与光栅不能平行的问题,本文设计了一种可自主调节的反射镜.与传统的工艺精度控制不同,方案重点对可调节反射镜结构进行设计,反射镜的偏转采用电容板来调节.建立了单层光栅与反射镜测量位移的理论模型,分析了两者不平行导致的测量误差,通过Ansys软件进行静力学分析,施加0～50V电压,仿真得到静电力作用下反射镜偏转最大位移为7μm,提取的最大应力35MPa.仿真结果表明所设计的反射镜可调节范围大于不平行误差,从理论上验证了反射镜调节的可行性。
关键词： 反射镜; 静电调节; 光栅位移测量;
作者： 耿浩 韩跃平 张瑞 李孟委
作者单位： 1.中北大学微系统集成研究中心； 2.中北大学信息与通信工程学院； 3.中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
刊名： 《测试技术学报》
Journal： Journal of Test and Measurement Technology
年，卷(期)： 2019, (3)
在线出版日期： 2019年06月30日
页数： 4
页码： 192-195
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